管型高温炉 Tube Furnace
PECVD工艺中由於等离子体中高速运动的电子撞击到中性的反应气体分子，就会使中性反应气体分子变成碎片或处於激活的状态容易发生反应；借助射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜；具有基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂等优点；
PECVD小型滑动开启式管式炉系统通过滑动炉体来实现快速的升降温，配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过多路高精度质量流量计控制不同气体。是实验室生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等的理想选择。
主要用途：
高校、科研院所用於真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀。
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炉体结构 |
双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温； 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
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电源 |
电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
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炉管 |
高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小 尺寸：Φ60*1250mm |
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法兰及支撑 |
SUS304不銹钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
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加热系统 |
加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用 加热区长度：270mm 恒温区长度：100mm 工作温度：≤1150℃ 最高温度：1200℃ 升温速率：10℃/min |
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温控系统 |
温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 30段升降温程序 测温元件：N型热电偶 恒温精度：±1℃ |
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混气系统 |
四路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不銹钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不銹钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不銹钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~200sccm 流量精度：±1.5% |
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高真空真空系统 |
采用双级旋片真空泵+分子泵，极限真空可达4.0*10^-4Pa 复合真空计，配置电阻规+电离规 抽速：110L/S 冷却：风冷 电源:AC220V 50/60Hz |
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射频电源系统 |
输出功率:0-300W 功率稳定度：±0.1% 射频电源频率:13.56MHz 稳定性±0.005% 最大反向功率:120W 射频电源电子输出端口:UHF 冷却:风冷 电源:AC187-253V 50/60Hz |
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可选配件 |
混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。 |
1200℃小型立式管式炉
2、炉膛采用日本技术真空吸附成型的优质氧化铝多晶纤维制成，保温效果好，耐用节能；
3、加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，具有表面负荷高、电阻率高、抗氧化性能好、经久耐用等特点，最高温度可达1200℃；
4、炉管采用高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热的温度变化；
5、采用KF快速法兰密封，仅需要一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人为操作导致漏气的可能；减少了因安装法兰而造成加热管损坏的可能；
6、预留了真空、气路快速接口，可配合我部真空系统、混气系统使用；
7、预留了485转换接口，可通过我部的软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能；可安装无纸记录装置，实现数据的存储、输出；
8、炉壳外观采用了圆弧形过度设计，造型新颖、美观；
9、炉子底部采用抽拉式插销结构，方便电器元件和热电偶更换、维修；
10、上盖开启自动断电，超温和断偶保护警报并断电，漏电保护，操作安全可靠。
| 温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降温程序；控温精度±1℃ | |
1200℃可倾斜旋转管式炉
1200℃可倾斜旋转管式炉是我公司新开发的一款自动化程度较高的实验烧结设备；采用触摸屏及PLC控制系统，一键智能化操作，图文界面操作简单、便捷；炉体可倾斜，炉管可连续旋转；管内壁有石英挡片帮助粉料翻转，有助於烧结的更均匀；上盖可开启，实现快速降温。
主要功能及特点：
1、采用异型石英管，中间加热区有石英分隔挡片，炉管可转动、可倾斜，使物料烧结更均匀；
2、自动化程度高，所有动作均通过触摸屏一键操控，直观，简单；
3、炉体倾斜采用上下位置互锁，安全可靠；
4、采用KF快速法兰密封，操作方便快捷；
5、炉盖可打开，可以实时观察加热的物料烧结情况；
6、预留了真空、气路快速接口，可配合我司真空系统、混气系统使用；
7、上盖开启自动断电，超温和断偶保护警报并断电，漏电保护，操作安全可靠。
主要用途和适用范围：
主要应用於电池正负极材料、无强酸硷性粉体材料、颗粒状物料的实验室煅烧及干燥等。
技术参数：
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炉体结构 |
双层壳体结构，炉体可倾斜，炉管可旋转 |
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炉膛材质 |
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 |
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炉管材质 |
高纯石英管；异形管两端：Φ60*460mm，中间：Φ100*200mm，总长1200mm |
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密封法兰 |
不銹钢快速挤压旋转密封法兰 |
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温控系统 |
温度控制系统采用采用触摸屏操作，人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并 |
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显示模式 |
液晶触控萤幕显示 |
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加热元件 |
0Cr27Al7Mo2 |
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测温元件 |
N型热电偶（可选配内置热电偶，实时监测加热物料温度） |
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使用温度 |
最高温度1200℃，连续工作温度≤1150℃ |
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升温速度 |
推荐≤10℃/min,最快升温速度30min |
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降温速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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恒温区 |
加热区长度410mm，恒温区200mm；（可选购加长恒温区） |
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倾斜、旋转 |
倾斜角度:0~25°;旋转速度:0~15 rpm |
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尺寸和重量 |
设备：670*850*1200mm（深*宽*高）；净重150kg |
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机器电源 |
AC220V，50/60Hz；额定功率4kw |
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执行标准 |
GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
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标准配置 |
主机1台，密封法兰1套，“O”型圈4个，石英管1根，管堵4个，坩埚钩1把 |
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可选真空 |
≤50Pa（常规机械泵+指针压力表） |
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可选混气 |
多通道浮子、质量混气系统 |
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选购件 |
炉架，各种石英、刚玉坩埚，石英管，高温手套，计算机控制软件等。 |
石墨烯专用生长炉
石墨烯专用生长炉由滑动开启式真空管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。
主要用途和适用范围：
用於石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用於要求升降温速度比较快的CVD实验。
主要技术参数：
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炉体结构 |
双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温； 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 炉子底部装有一对滑轨，移动平稳 炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却 支撑两端安装油压缓冲器 炉盖可开启，可以实时观察加热的物料 |
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机器电源 |
电压：AC220V 50/60Hz；功率：4kw |
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炉管 |
高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小 尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm |
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法兰及支撑 |
SUS304不銹钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合 |
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加热系统 |
加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用 加热区长度：410mm 恒温区长度：200mm 工作温度：≤1150℃ 最高温度：1200℃ 升温速率：10℃/min |
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温控系统 |
温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 30段升降温程序 测温元件：N型热电偶 恒温精度：±1℃ |
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混气系统 |
三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制 内置不銹钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 管路采用不銹钢管，接口为Φ6卡套 每路气体进气管路配有不銹钢针阀 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量 流量规格：0~1SLM 流量精度：±0.5% |
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真空系统 |
采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr |
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标准配置 |
主机1台，密封法兰1套，“O”型圈4个，石英管1根，管堵4个，坩埚钩1把 |
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可选配件 |
混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪等。 |
箱型高温炉 Box Furnace
1700℃精密真空气氛炉是我司研发改进的新款产品，可视化的7寸大触摸屏，让程序设置更快捷,设备运行状态更直观，本款产品集成了加热系统，混气系统，真空系统，内循环水冷却系统，监测系统，都可通过控制按钮一键操作。本机功能全面，满足客户绝大部分要求。
主要功能和特点：
1、采用双层壳体结构，炉体表面温度更低，设计紧凑，满足实验室小空间要求；
2、炉膛采用进口氧化铝多晶纤维材料，保温性能好，耐用，拉伸强度高，无杂球，纯度高，节能效果明显优於国内纤维材料；
3、加热元件采用进口矽钼棒，并根据使用气氛的不同，镀入了不同的保护涂层，大大提高了使用寿命；
4、内炉腔采用耐高温合金材质，专业的真空设计，独特的密封技术，保证了炉腔的气密性，真空度远远超过同类产品；
5、预留两路进气接口，可单独控制气体流量，配备混气装置，通入不同的气氛，满足气氛实验要求；
6、本机集成了内循环水冷却系统，避免外接水源的繁锁，使设备的外表面温度更低；
7、本机具有超温报警并断电保护功能，漏电保护功能，操作安全可靠，保障了人身安全；
8、预留了485转换接口，通过选配我司专用软件与计算机联接，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
主要用途和适用范围：
用於气氛保护烧结、气氛还原、退火等。
技术参数：
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炉膛尺寸 |
300*200*200mm（深*宽*高） |
400*300*300mm（深*宽*高） |
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尺寸和重量 |
850*1000*1500mm；440kg |
950*1100*1600mm；565kg |
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工作电源 |
AC220V，50/60Hz；额定功率8kw |
AC380V，50/60Hz；额定功率14kw |
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炉体结构 |
双层壳体结构，耐高温不銹钢合金内腔体 |
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炉 膛 |
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 |
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炉门结构 |
左侧开门，不銹钢手轮挤压式密封 |
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温控系统 |
温度控制系统采用触摸屏操作，人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序；控温精度±1℃ |
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显示模式 |
液晶触控萤幕显示 |
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加热元件 |
优质矽钼棒 |
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测温元件 |
B型热电偶，正上方测温 |
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使用温度 |
最高温度1650℃，连续工作温度≤1600℃ |
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升温速度 |
建议≤10℃/min,最快升温速度20min |
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降温速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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真空度 |
≤500Pa |
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气体流量 |
两路浮子流量计混配气系统，量程：0.3-3L/min | ||||||
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不同气氛下的最高 |
NO2、CO2、O2、Air |
He、Ar、Ne |
SO2 |
CO、N2 |
湿H2 |
干H2 |
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1650 |
1600 |
1550 |
1500 |
1400 |
1350 |
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执行标准 |
GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
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标准配置 |
主机1台，坩埚钳1把，高纯氧化铝坩埚2个 |
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选购件 |
各种刚玉坩埚，高温手套，计算机控制软件，压力控制系统，氧含量监测系统 |
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RTP快速退火炉
义齿烧结炉/升降气氛炉
义齿烧结炉/升降气氛炉为功能强大的加热设备，主要应用於义齿加工行业的氧化锆烧结，也可用於粉末冶金行业的高温材料在保护气氛下烧结与退火。该产品采用进口矽钼棒加热，炉体为下装载自动升降结构，造型新颖，结构科学、合理，是高温材料烧结领域的主流设备。
主要功能和特点：
1、炉体为下装载自动升降结构，有利於试样的取放；托盘和釜之间采O形圈密封，待托盘上升到位后采用KF卡箍与釜连接，能有效地保证炉内气密性；
2、炉子采用双层炉壳结构，双层壳体之间采用空气冷却技术，能有效地降低外炉壳的温度；
3、可控制的气氛处理结构，确保气氛保护烧结下物料不氧化；
4、可视化7寸触摸屏，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；
5、炉膛采用圆筒形结构，加热元件圆周型均匀分布，温场均匀性好；
6、预留了气路快速接口，可配合我司混气系统使用；
7、预留通讯接口，可通过我司专用软件，与计算机互联，可实现单台或者多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
8、设置超温报警并断电，漏电保护，操作安全可靠。
主要用途和适用范围：
应用於义齿加工行业的氧化锆烧结，也可用於粉末冶金行业的高温材料在保护气氛下烧结与退火。
技术参数：
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炉膛尺寸 |
Φ130*120mm |
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炉体结构 |
双层壳体结构 |
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炉膛材质 |
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛 |
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炉门结构 |
升降式 |
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温控系统 |
温度控制系统采用触摸屏操作，人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序；控温精度±1℃ |
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液晶触控萤幕显示 |
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加热元件 |
优质矽钼棒 |
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测温元件 |
BB型热电偶 |
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使用温度 |
最高温度1500℃，连续工作温度≤1450℃ |
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升温速度 |
推荐≤10℃/min，（≤500℃时为8℃/min） |
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降温速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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尺寸和重量 |
设设备：650*450*1300 （深*宽*高）；净重 150kg |
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工作电源 |
AC220V，50/60Hz；额定功率3kw |
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执行标准 |
GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005 |
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标准配置 |
主机1台，“O”型圈2个，料盘3个，高温手套1副，坩埚钳1把 |
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可选混气 |
多通道浮子、质量混气系统 |
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选购件 |
各种刚玉坩埚，高温手套，计算机控制软件等。 |
