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管型高溫爐 Tube Furnace

      在真空壓力下，加在電感線圈的射頻電場，使反應室氣體發生輝光放電，在輝光發電區域產生大量的電子。這些電子在電場的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，並發生化學反應生成介質膜，副產物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走，稱為等離子體增強化學氣相沉(PECVD)。
      PECVD工藝中由於等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子，就會使中性反應氣體分子變成碎片或處於激活的狀態容易發生反應；借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜；具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等優點；
      PECVD小型滑動開啟式管式爐系統通過滑動爐體來實現快速的升降溫，配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過多路高精度質量流量計控制不同氣體。是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，複合薄膜等的理想選擇。

主要用途：
高校、科研院所用於真空鍍膜、納米薄膜材料製備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，複合薄膜等，也可作為擴展等離子清洗刻蝕。

主要技術參數：

爐體結構	雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫；日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
電源	電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
爐管	高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹係數極小尺寸：Φ60*1250mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統	加熱元件採用優質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用加熱區長度：270mm 恆溫區長度：100mm 工作溫度：≤1150℃ 最高溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min
溫控系統	溫度控制採用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能 30段升降溫程序測溫元件：N型熱電偶恆溫精度：±1℃
混氣系統	四路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路採用不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格：0~200sccm 流量精度：±1.5%
高真空真空系统	採用雙級旋片真空泵+分子泵，極限真空可達4.0*10^-4Pa 複合真空計，配置電阻規+電離規抽速：110L/S 冷卻：風冷電源:AC220V 50/60Hz
射頻電源系統	輸出功率:0-300W 功率穩定度：±0.1% 射頻電源頻率:13.56MHz 穩定性±0.005% 最大反向功率:120W 射頻電源電子輸出端口:UHF 冷卻:風冷電源:AC187-253V 50/60Hz
可選配件	混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。

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1200℃小型立式管式爐

1200℃小型立式管式爐採用智能化程序控溫系統，可控矽控制，控溫精度高；雙層殼體結構，設計合理，外形美觀，結構緊湊；雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫度；真空級法蘭密封，結合我司標準真空、混氣系統，可抽真空通氣氛。

主要功能和特點：

1、爐蓋可打開，可以隨時觀察加熱的物料，並能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗需要；

2、爐膛採用日本技術真空吸附成型的優質氧化鋁多晶纖維製成，保溫效果好，耐用節能；

3、加熱元件採用優質合金絲0Cr27Al7Mo2，具有表面負荷高、電阻率高、抗氧化性能好、經久耐用等特點，最高溫度可達1200℃；

4、爐管採用高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹係數極小，能承受驟冷驟熱的溫度變化；

5、採用KF快速法蘭密封，僅需要一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；

6、預留了真空、氣路快速接口，可配合我部真空系統、混氣系統使用；

7、預留了485轉換接口，可通過我部的軟件，與計算機互聯，可實現單台或者多台電爐的遠程控制、實時追踪、歷史記錄、輸出報表等功能；可安裝無紙記錄裝置，實現數據的存儲、輸出；

8、爐殼外觀採用了圓弧形過度設計，造型新穎、美觀；

9、爐子底部採用抽拉式插銷結構，方便電器元件和熱電偶更換、維修；

10、上蓋開啟自動斷電，超溫和斷偶保護警報並斷電，漏電保護，操作安全可靠。

主要用途和適用範圍：

用於在真空或是氣氛保護環境下的材料燒結試驗。

技術參數：

爐體結構	雙層殼體結構，配有風冷系統
爐膛材質	日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐管材質	高純石英管；可選外徑Φ40/50*600mm
密封法蘭	不銹鋼快速擠壓密封法蘭
溫控系統	溫度控制系統採用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，並可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃
顯示模式	儀表面板顯示
加熱元件	優質合金絲0Cr27Al7Mo2
测温元件	N型熱電偶（可選購增加內置熱電偶，實時監測加熱物料溫度）
使用温度	最高溫度1200℃，連續工作溫度≤1150℃
升温速度	推薦≤10℃/min,最快升溫速度30min
降温速度	700℃以上≤10℃/min
恆溫區	加熱區長度270mm，恆溫區120mm
尺寸和重量	設備：355445490mm （深寬高）；淨重55kg（不含法蘭及石英管）
機器電源	AC220V，50/60Hz；額定功率2kw
執行標準	GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005
標準配置	主機1台，密封法蘭1套，“O”型圈4個，石英管1根，管堵4個，坩堝鉤1把
可選真空	≤50Pa（常規機械泵+指針壓力表） ≤10Pa（高配機械泵+數顯壓力表） ≤0.005Pa（分子泵系統）
可選混氣	多通道浮子、質量混氣系統
選購件	爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計算機控制軟件，無紙記錄儀等。

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1200℃可傾斜旋轉管式爐

1200℃可傾斜旋轉管式爐是我公司新開發的一款自動化程度較高的實驗燒結設備；採用觸摸屏及PLC控制系統，一鍵智能化操作，圖文界面操作簡單、便捷；爐體可傾斜，爐管可連續旋轉；管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉，有助於燒結的更均勻；上蓋可開啟，實現快速降溫。

主要功能及特点：

1、採用異型石英管，中間加熱區有石英分隔擋片，爐管可轉動、可傾斜，使物料燒結更均勻；

2、自動化程度高，所有動作均通過觸摸屏一鍵操控，直觀，簡單；

3、爐體傾斜採用上下位置互鎖，安全可靠；

4、採用KF快速法蘭密封，操作方便快捷；

5、爐蓋可打開，可以實時觀察加熱的物料燒結情況；

6、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統、混氣系統使用；

7、上蓋開啟自動斷電，超溫和斷偶保護警報並斷電，漏電保護，操作安全可靠。

主要用途和適用範圍：

主要應用於電池正負極材料、無強酸鹼性粉體材料、顆粒狀物料的實驗室煅燒及乾燥等。

技術參數：

爐體結構	雙層殼體結構，爐體可傾斜，爐管可旋轉
爐膛材質	日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐管材質	高純石英管；異形管兩端：Φ60460mm，中間：Φ100200mm，總長1200mm
密封法蘭	不銹鋼快速擠壓旋轉密封法蘭
温控系统	溫度控制系統採用採用觸摸屏操作，人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，並可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃
顯示模式	液晶觸控螢幕顯示
加熱元件	0Cr27Al7Mo2
測溫元件	N型熱電偶（可選配內置熱電偶，實時監測加熱物料溫度）
使用温度	最高溫度1200℃，連續工作溫度≤1150℃
升温速度	推薦≤10℃/min,最快升溫速度30min
降温速度	700℃以上≤10℃/min
恆溫區	加熱區長度410mm，恆溫區200mm；（可選購加長恆溫區）
傾斜、旋轉	傾斜角度:0~25°;旋轉速度:0~15 rpm
尺寸和重量	設備：6708501200mm（深寬高）；淨重150kg
機器電源	AC220V，50/60Hz；額定功率4kw
執行標準	GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005
標準配置	主機1台，密封法蘭1套，“O”型圈4個，石英管1根，管堵4個，坩堝鉤1把
可選真空	≤50Pa（常規機械泵+指針壓力表）
可選混氣	多通道浮子、質量混氣系統
選購件	爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計算機控制軟件等。

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石墨烯專用生長爐

石墨烯專用生長爐由滑動開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

主要用途和適用範圍：

用於石墨烯生長、研發的專用爐，也同樣適用於要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

主要技術參數：

爐體結構	雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫；日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻支撐兩端安裝油壓緩衝器爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
機器電源	電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4kw
爐管	高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹係數極小尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
法蘭及支撐	SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統	加熱元件採用優質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用加熱區長度：410mm 恆溫區長度：200mm 工作溫度：≤1150℃ 最高溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min
溫控系統	溫度控制採用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能 30段升降溫程序測溫元件：N型熱電偶恆溫精度：±1℃
混氣系統	三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路採用不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格：0~1SLM 流量精度：±0.5%
真空系統	採用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr 數顯式真空壓力表可選高真空系統及真空計，壓力控制系統等
標準配置	主機1台，密封法蘭1套，“O”型圈4個，石英管1根，管堵4個，坩堝鉤1把
可選配件	混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀等。

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箱型高溫爐 Box Furnace

1700℃精密真空氣氛爐是我司研發改進的新款產品，可視化的7寸大觸摸屏，讓程序設置更快捷,設備運行狀態更直觀，本款產品集成了加熱系統，混氣系統，真空系統，內循環水冷卻系統，監測系統，都可通過控制按鈕一鍵操作。本機功能全面，滿足客戶絕大部分要求。

主要功能和特點：

1、採用雙層殼體結構，爐體表面溫度更低，設計緊湊，滿足實驗室小空間要求；

2、爐膛採用進口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節能效果明顯優於國內纖維材料；

3、加熱元件採用進口矽鉬棒，並根據使用氣氛的不同，鍍入了不同的保護塗層，大大提高了使用壽命；

4、內爐腔採用耐高溫合金材質，專業的真空設計，獨特的密封技術，保證了爐腔的氣密性，真空度遠遠超過同類產品；

5、預留兩路進氣接口，可單獨控制氣體流量，配備混氣裝置，通入不同的氣氛，滿足氣氛實驗要求；

6、本機集成了內循環水冷卻系統，避免外接水源的繁鎖，使設備的外表面溫度更低；

7、本機具有超溫報警並斷電保護功能，漏電保護功能，操作安全可靠，保障了人身安全；

8、預留了485轉換接口，通過選配我司專用軟件與計算機聯接，可實現單台或者多台電爐的遠程控制、實時追踪、歷史記錄、輸出報表等功能。

主要用途和適用範圍：

用於氣氛保護燒結、氣氛還原、退火等。

技術参数：

爐膛尺寸	300200200mm（深寬高）			400300300mm（深寬高）
尺寸和重量	85010001500mm；440kg			95011001600mm；565kg
工作電源	AC220V，50/60Hz；额定功率8kw			AC380V，50/60Hz；额定功率14kw
爐體結構	雙層殼體結構，耐高溫不銹鋼合金內腔體
爐膛	日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐門結構	左側開門，不銹鋼手輪擠壓式密封
溫控系統	溫度控制系統採用觸摸屏操作，人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，並可編制50段升降溫程序；控溫精度±1℃
顯示模式	液晶觸控螢幕顯示
加熱元件	優質矽鉬棒
測溫元件	B型熱電偶，正上方測溫
使用溫度	最高溫度1650℃，連續工作溫度≤1600℃
升温速度	建議≤10℃/min,最快升溫速度20min
降温速度	700℃以上≤10℃/min
真空度	≤500Pa
氣體流量	兩路浮子流量計混配氣系統，量程：0.3-3L/min
不同氣氛下的最高使用溫度	NO₂、CO₂、O₂、Air	He、Ar、Ne	SO₂		CO、N₂	湿H₂	干H₂
	1650	1600	1550		1500	1400	1350
執行標準	GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005
標準配置	主機1台，坩堝鉗1把，高純氧化鋁坩堝2個
選購件	各種剛玉坩堝，高溫手套，計算機控制軟件，壓力控制系統，氧含量監測系統

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RTP快速退火爐

採用進口紅外線加熱管加熱，造型新穎結構合理，爐體和爐管可以自由滑動，可實現快速升降溫。爐管內尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內，在完成生產工藝的同時，也大大降低了間接污染試樣的可能性

主要功能和特點：

1、視覺化7寸觸控螢幕，設定數據和操作都是圖文界面，操作方便；

2、爐體配備高精度移動平台，運行平穩無抖動；

3、爐管可自由移動，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；當爐管移出爐膛時冷確風扇啟動，可實現試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實驗要求；

4、爐膛採用進口多晶纖維真空吸附製成，採用進口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達5000小時，升溫速度快，最高溫度可達1050℃。

5、預留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統、混氣系統使用；

6、預留了485轉換接口，可通過我司專用軟件，與計算機互聯，可實現單台或者多台電爐的遠程控制、實時追踪、歷史記錄、輸出報表等功能；

7、設置超溫報警並斷電，漏電保護，操作安全可靠。

主要用途和適用範圍：

用於半導體器件研發及生產等領域，可滿足離子注入後的快速退火、歐姆接觸快速合金、矽化物合金退火，氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

技術參數：

爐體結構	雙層殼體結構，高精度移動平台
爐膛材質	日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐管材質	高純石英管；Φ140*450mm，有效試樣空間：5英寸
密封法蘭	不銹鋼快速擠壓密封法蘭
溫控系統	溫度控制系統採用觸摸屏操作，人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，並可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃
顯示模式	液晶觸控螢幕顯示
加熱元件	進口紅外燈管
測溫元件	N型熱電偶（可選配內置熱電偶，實時監測加熱物料溫度）
使用温度	最高溫度1050℃，連續工作溫度≤1000℃
升温速度	推薦≤20℃/ sec，最快升溫速度50℃/sec
降温速度	200℃以上≤25min
恆溫區	加熱區長度200mm
尺寸和重量	設備：6101150550mm （深寬高）；淨重 85kg
機器電源	AC220V，50/60Hz；額定功率15kw
執行標準	GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005
可選真空	≤50Pa（常規機械泵+指針壓力表） ≤10Pa（高配機械泵+數顯壓力表）
可選混氣	多通道浮子、質量混氣系統
選購件	爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計算機控制軟件等。

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義齒燒結爐/升降氣氛爐

義齒燒結爐/升降氣氛爐為功能強大的加熱設備，主要應用於義齒加工行業的氧化鋯燒結，也可用於粉末冶金行業的高溫材料在保護氣氛下燒結與退火。該產品採用進口矽鉬棒加熱，爐體為下裝載自動升降結構，造型新穎，結構科學、合理，是高溫材料燒結領域的主流設備。

主要功能和特點：

1、爐體為下裝載自動升降結構，有利於試樣的取放；托盤和釜之間採O形圈密封，待托盤上升到位後採用KF卡箍與釜連接，能有效地保證爐內氣密性；

2、爐子採用雙層爐殼結構，雙層殼體之間採用空氣冷卻技術，能有效地降低外爐殼的溫度；

3、可控制的氣氛處理結構，確保氣氛保護燒結下物料不氧化；

4、可視化7寸觸摸屏，設定數據和操作都是圖文界面，操作方便；

5、爐膛採用圓筒形結構，加熱元件圓周型均勻分佈，溫場均勻性好；

6、預留了氣路快速接口，可配合我司混氣系統使用；

7、預留通訊接口，可通過我司專用軟件，與計算機互聯，可實現單台或者多台電爐的遠程控制、實時追踪、歷史記錄、輸出報表等功能。

8、設置超溫報警並斷電，漏電保護，操作安全可靠。

主要用途和適用範圍：

應用於義齒加工行業的氧化鋯燒結，也可用於粉末冶金行業的高溫材料在保護氣氛下燒結與退火。

技術參數：

爐膛尺寸	Φ130*120mm
爐體結構	雙層殼體結構
爐膛材質	日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛
爐門結構	升降式
温控系统	溫度控制系統採用觸摸屏操作，人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能，並可編制50段升降溫程序；控溫精度±1℃
顯示模式	液晶觸控螢幕顯示
加熱元件	優質矽鉬棒
測溫元件	BB型熱電偶
使用温度	最高溫度1500℃，連續工作溫度≤1450℃
升温速度	推薦≤10℃/min，（≤500℃時為8℃/min）
降温速度	700℃以上≤10℃/min
尺寸和重量	设設備：6504501300 （深寬高）；淨重 150kg
工作電源	AC220V，50/60Hz；額定功率3kw
執行標準	GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005
標準配置	主機1台，“O”型圈2個，料盤3個，高溫手套1副，坩堝鉗1把
可選混氣	多通道浮子、質量混氣系統
選購件	各種剛玉坩堝，高溫手套，計算機控制軟件等。